1、指標評估的對象不同：

靈敏度評估的對象是傳感器的輸出和輸入之間的關系。分辨率是指傳感器可感受到的被測量的最小變化的能力。精度用來評估傳感器測量系統測量精度。

2、表示方法不同：

靈敏度表示為：輸出量的增量與引起該增量的相應輸入量增量之比。用S表示靈敏度。它是輸出一輸入特性曲線的斜率。靈敏度的量綱是輸出、輸入量的量綱之比。分辨率常用滿量程中能使輸出量產生階躍變化的輸入量中的*變化值作為衡量分辨率的指標。精度常用精確度來表示。

3、精度是表示測量值離散的程度；靈敏度指示器的相對于被測量變化的位移率；分辨力是顯示裝置能有效辨別的最小的示值差。

精度：是表示測量值離散的程度。在對一個量進行無窮多次測量時，測量結果會呈現下圖所示的正態分布。測量儀表（包括傳感器）的精度就是指測量結果 99.73% 的可能（這里跳過關于統計學知識的討論）偏離真值的范圍。對于測量儀器來說，精度是一個定性的概念，一般不用數值表達。

和精度相類似的儀器指標還有準確度：指在一定實驗條件下多次測定的平均值與真值相符合的程度，以誤差來表示。例如：

儀器允許產生的誤差為量程的0.5%。即準確度0.5%或0.5級；

儀器允許產生的誤差為正負某個數值。

精度和準確度有相似性，但兩者的定義是不同的。精度是表示測量值離散的程度。準確度表示觀測值與真值的接近程度。平常所說的“精度”實際上很多時候是指準確度。

靈敏度：指示指（輸出）的相對于被測量變化的位移率。在數值上指測量儀器響應的變化除以對應的激勵變化。由于靈敏度可能與激勵值有關。所以不同儀器對于靈敏度的數值或表達方式的會有所不同。對于傳感器來說，常見的是以傳感器的闕值（能使傳感器輸出端產生可測變化量的被測量的最小變化量）來表示。

分辨力：顯示裝置能有效辨別的最小的示值差。對于數字式顯示裝置，這就是當變化一個末位有效數字時其示值的變化。此概念亦適用于記錄儀

其它相關指標：

1、線性度：指傳感器輸出量與輸入量之間的實際關系曲線偏離擬合直線的程度。定義為在全量程范圍內實際特性曲線與擬合直線之間的*偏差值與滿量程輸出值之比。

2、遲滯：傳感器在輸入量由小到大（正行程）及輸入量由大到小（反行程）變化期間其輸入輸出特性曲線不重合的現象成為遲滯。對于同一大小的輸入信號，傳感器的正反行程輸出信號大小不相等，這個差值稱為遲滯差值。

3、重復性：重復性是指傳感器在輸入量按同一方向作全量程連續多次變化時，所得特性曲線不一致的程度。

4、漂移：傳感器的漂移是指在輸入量不變的情況下，傳感器輸出量隨著時間變化，此現象稱為漂移。產生漂移的原因有兩個方面：一是傳感器自身結構參數；二是周圍環境（如溫度、濕度等）